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產品詳細說明
產品描述
馗鼎納米科技以數十年優越的等離子設備制造能力結合等離子源及電源供應器設計、等離子診斷技術、設備自動化推出智能電暈*化設備POL-57A為批次式等離子*化設備適用于處理壓電薄膜*化制程，搭配人機接口容易操作、具有抑制電弧能力、智能制程診斷功能。
產品特點
可搭配機械手臂自動取放片
*鍵全自動操作，效能更穩定
可編程且模塊化流程設定： 設備動作及制程參數設定容易，研發或生產皆宜
獲多項專利的智能制程： 加裝多項傳感器實時監控制程數據，以便紀錄制程穩定性、異常預測、等
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