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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
美國(guó)ACM RESEARCH 顯影設(shè)備
顯影設(shè)備
• 曝光后烘烤 (PEB)
• 顯影
• 堅(jiān)膜
主要優(yōu)勢(shì)
三種顯影方式集于 體
靈活的噴嘴掃描系統(tǒng)
技術(shù) 進(jìn)，使用便捷
精確的藥液控制
特性和規(guī)格
兼容8英寸和12英寸晶片
可配至 多四個(gè)顯影腔體
雙面工藝, 每個(gè)顯影腔體內(nèi)配有1到5套液體噴嘴
2到8個(gè)熱盤(pán)
2到6個(gè)冷卻盤(pán)
更多»本企業(yè)其它產(chǎn)品
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