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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
61.3 控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的完美解決方案。該板充當(dāng)節(jié)流元件并改變閥門(mén)開(kāi)口的傳導(dǎo)性。61.3 的集成壓力控制器計(jì)算所需的板位置，以盡快達(dá)到設(shè)定壓力。
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