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產品詳細說明
Hitachi metals Area ? FC-R7800 系列提供精確的流量控制以及金屬密封件的耐腐蝕性和高泄漏完整性，適合大多數氣體控制應用。
特征
耐腐蝕設計
金屬密封件
VCR ?、Swagelok ?兼容連接
滿量程流量范圍為 10 sccm 至 200 slm
常閉或常開電磁控制閥
He 的泄漏完整性為 1 × 10 -10 atm-cc/sec
好處
快速響應 - 設定點之間的流量穩定時間 < 1 秒
出色的可靠性
輕松集成 - 標準連接器和尺寸
卓越的結果 - 高品質的薄膜特性
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