奧地利RSFElektronik 縱向劃分

標(biāo)準(zhǔn)版：增量秤和掃描板

材料

• 精選浮法玻璃
• 線膨脹系數(shù)：  （α≈8.5×10 -6 /K）
• 投影：< 0.1 毫米
• 玻璃厚度刻度：2 ±0.2 mm
• 大玻璃長(zhǎng)度：3 300 毫米
• 玻璃厚度掃描板：1±0.1mm

分配

 

• 鉻濺射在玻璃上
• 刻度精度：≤ ±3 µm/ 1000 mm
• 大節(jié)距：3 250 mm
• 掃描板分度精度：≤±1.5 µm
• 可能的分期：

 

• 1 0 : 10 微米
• 20:20 微米