自成立以來 直以創新制勝
創立于 1946 年:第二次 大戰結束后第 個完整的和平年; 上第 臺計算機 ENIAC 誕生;“自動化” 詞才開始使用。Stephen A. Brooks 成立 Brooks Rotameter Company,在賓夕法尼亞州蘭斯代爾開始運營。
這 新公司的優勢是以轉子流量計結構的創新側板、定位銷釘原理為基礎。該優質儀器從始至終都能夠提供可靠的結果,我們不懈追求的這項技術幫助行業轉變了測量和控制基本過程的方式,因此也成為我們寶貴的傳統。
成長的催化劑
在不斷發展并取得成功的七十年中,布魯克斯儀器開發了多項具有顛覆性的流體測量和控制技術,例如耐用的流線型 Sho-Rate® 變面積流量計。該流量計于 1958 年 次推出,1965 年 3 月 NASA 將其用于雙子座太空計劃中的太空服泄漏測試。
從那時起,加入布魯克斯儀器大 庭的公司在我們的創新傳統中發揮著同等重要的作用。Tylan General 和 UNIT Instruments 等突破性的質量流量技術創新公司與布魯克斯儀器同心協力,決心成為改變質量流量技術發展和應用的促進者。
釋放質量流量潛力
我們的傳統包括推出并不斷推進質量流量測量和控制,這項技術在創造推動數字 域發展的 半導體工業方面發揮了重要作用。
20 世紀 70 年代,隨著 Tylan FC-260 的推出,質量流量控制器 (MFC) 次在阿波羅飛船上用于精確測量氧氣流量,這是半導體制造商 次將過程氣體自動控制應用到自己的工具之中,實現了工業規模的吞吐率和產量。
1980 年,UNIT Instruments 推出了 UFC1000,它提供了 種響應更快、更安全的常閉 MFC 閥,更適用于刻蝕等要求苛刻的工藝。90 年代初至中期,布魯克斯儀器發布的 款金屬密封 MFC (5850EM) 具有更高的可靠性和耐氣體腐蝕性,同時還發布了具有更高精度和易于集成到處理工具的 款全數字 MFC。
質量流量裝置增加的每項創新或技術特征都圍繞 個基本目標:幫助制造商將工藝結果的精度和準確度提高到 個新的水平。
增強應用性能
我們的技術 直不只是促進我們所服務行業取得突破的催化劑。我們還致力于不斷提高其在實際應用中的性能,從而提高流程靈活性,提供更廣泛的儀器選擇,以及滿足獨特的操作需求。
例如,1998 年,布魯克斯儀器發布了 Mf 系列,這是 個不受氣候影響和適合危險區域的 MFC,使技術能夠勝任戶外的沖洗/軟管沖洗應用和危險區域使用。布魯克斯儀器還推出了 款基于 Coriolis 的微型 MFC,顯著提高了低流量液體測量和控制的精度。
21 世紀初,針對特定 域出現了多項創新:
- 緊湊型表面貼裝 MFC 的推出,使原始設備制造商能夠減少氣體面板尺寸多達 60%,從而節省制程設備周圍的寶貴空間。
- 隨著 款數字電容式真空計的推出時,真空測量進入了新的時代。
- 2001 年,MultiFlo® 質量流量技術為熱質量流量計和流量控制器用戶提供了對不同氣體和流量組合輸送進行編程的能力,所有這 切都通過 臺裝置實現
- 2004 年,Celerity Instrumentation(前身為 UNIT Instruments)發布了 款抗壓力瞬變(PTI) MFC——IFC125,具有市場 的響應時間和進口壓力變化補償。
秉持創新傳統
2009 年,布魯克斯儀器收購了 Celerity Instrumentation 公司,其中包括 Tylan、Mykrolis 和 UNIT Instruments 等行業 制造商的技術傳承。我們基于以這些技術傳承為基礎不斷在如下多個方面取得進展:
- GF100 系列:用于半導體行業的多功能通用 MFC 平臺,融合了 MultiFlo®、PTI 等 進技術,設定了精度、性能和長期價值的行業標桿。
- GF135 MFC:第 款集成了實時流量誤差檢測的 MFC,使半導體制造商能夠驗證工藝氣體的準確性,檢查閥門泄漏和實時監測傳感器穩定性,無需從氣體管線上拆除流量控制器。
- MT3809 VA 流量計:現在配有改進的變送器和 HART 7 功能,以及可就地操作的數字 LCD 顯示屏,修改參數無需拆卸蓋子,也就是說即使在危險區域也可以更改參數。